面向近红外微型光谱仪的MOEMS扫描光栅微镜关键技术研究的综述报告

面向近红外微型光谱仪的MOEMS扫描光栅微镜关键技术研究的综述报告随着现代科技的迅速发展，越来越多的微型光学元件被广泛应用于各种领域中，例如环境监测、食品检验、医学诊断等。其中，面向近红外微型光谱仪的