高纯六氟乙烷中氯化氢的傅里叶变换红外定量分析

高纯六氟乙烷中氯化氢的傅里叶变换红外定量分析摘要：高纯六氟乙烷是一种广泛应用于半导体工业中作为清洗剂的氟化碳气体，其纯度对其应用效果有着重要影响。本文探讨了如何利用傅里叶变换红外光谱技术对高纯六氟乙烷