《微细加工光刻胶》PPT课件

- 第 8 章 光刻胶 - 一、光刻胶的类型 凡是在能量束（光束、电子束、离子束等）的照射下，以交联反应为主的光刻胶称为 负性光刻胶，简称 负胶。