集成电路制造工艺原理(doc75)(1)

集成电路制造工艺原理课程总体介绍：课程性质及开课时间：本课程为电子科学与技术专业（微电子技术方向和光电子技术方向）的专业选修课。本课程是半导体集成电路、晶体管原理与设计和光集成电路等课程的前修课程。本