半导体制造系统生产调度建模及优化策略分析

半导体制造系统生产调度建模及优化策略分析摘 要半导体制造过程具有工艺流程复杂、工序多、不确定性强等显著区别于其它制造行业的特点，随着半导体产业朝着多品种、 小批量的方向发展，有效的半导体制造系统生产调