电子行业-集成电子学第六章 精品

- 第六章 新型纳米CMOS器件 - 随着器件尺寸不断缩小，体硅CMOS技术发展已经越来越接近基本物理极限。实际上尺寸缩小受制于经济和物理两方面。低成本缩小器件尺寸，提高性能的