基于感应耦合等离子刻蚀技术的三维微拉伸梁制作工艺

基于感应耦合等离子刻蚀技术的三维微拉伸梁制作工艺摘要本文主要介绍基于感应耦合等离子刻蚀技术的三维微拉伸梁制作工艺，包括工艺流程、制备方法和性能分析等内容。利用该技术，可以制备出具有优异力学性能的微拉伸