小型微波等离子体功率源的研究的开题报告

小型微波等离子体功率源的研究的开题报告一、课题背景小型微波等离子体功率源广泛应用于物理、化学和工程领域，如等离子体反应器、化学反应、清洗和物质加工等。传统的微波功率源受限于其体积和重量，且辐射能量多数