基于多波长数字锁相检测的光学拓扑成像方法

基于多波长数字锁相检测的光学拓扑成像方法光学拓扑成像是一种高分辨率、非接触式的成像方法，其基本原理是通过测量样品表面反射光的相位信息，来获得样品的表面形貌和光学性质等信息。由于这种方法对于光学表面的精