MEMS万向惯性开关制作工艺研究的中期报告

MEMS万向惯性开关制作工艺研究的中期报告【摘要】MEMS万向惯性开关是一种非常重要的MEMS传感器，已经广泛应用于各种测量和控制应用中。本中期报告主要介绍了MEMS万向惯性开关的制作工艺。首先介绍了