国家标准《埋层硅外延片》讨论稿编制说明

国家标准《埋层硅外延片》 （讨论稿）编制说明 一、 工作简况1、立项目的和意义埋层硅外延工艺是IC芯片工艺中一道必不可少的工序，通过在芯片的埋层电路片上 做选择性外延生长，将掺杂剂植入芯片电路中，能够