微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性测量方法

微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性测量方法摘要微纳米级表面微观几何形貌和粗糙度特性在微纳米加工和表面工程中具有重要的作用。本论文介绍了常用的微观几何形貌表征方法，包括扫描电子显微镜、原子力显微镜和白