MEMS传感器的封装

MEMS 传感器的封装【来源:《电子工业专用设备》】【作者:】【时间: 2006-8-9 9:40:32】【点击: 299】1 引言MEMS 作为 21 世纪的前沿高科技，在产业化道路上已经发展了 2