非晶硅薄膜的YAG激光晶化工艺研究

非晶硅薄膜的YAG激光晶化工艺研究非晶硅薄膜的YAG激光晶化工艺研究摘要：随着电子器件的迅猛发展，对高性能材料的需求也越来越大。非晶硅薄膜作为一种重要的新材料，具有优秀的光学、电学和热学性能，广泛应用