Ni在非晶Si中扩散机制的原位X射线衍射研究

Ni在非晶Si中扩散机制的原位X射线衍射研究摘要本文利用原位X射线衍射技术研究了Ni在非晶Si中的扩散机制。实验结果表明，Ni在非晶Si中的扩散主要由晶格扭曲和空位扩散两种机制共同驱动。1. 引言Ni