光化学约束刻蚀在微加工中的应用

光化学约束刻蚀在微加工中的应用光化学约束刻蚀（PEC）是一种在微加工领域中广泛应用的纳米级解决方案。它利用光照和化学反应来控制和限制材料的刻蚀过程，具有高分辨率、高选择性和高效率的优点。本文将介绍光化