有机SOL-GEL法制备掺杂氧化钒薄膜及其电学性能研究

有机SOL-GEL法制备掺杂氧化钒薄膜及其电学性能研究摘要本文采用有机SOL-GEL法制备掺杂氧化钒薄膜，并研究其电学性能。通过控制制备工艺条件，成功制备了掺杂不同浓度氧化钒的薄膜。通过XRD、SEM