真空微电子触觉传感器场致发射阵列的研究

真空微电子触觉传感器场致发射阵列的研究()1998 年 7 月 Vol . 21 , ?. 4 自然科学版重庆大学学报 第 21 卷第 4 期 ( )J ul . 1998 Journal of Ch