[工学]纳米压印技术综述

纳米压印技术研究综述牛士超 （吉林大学生物与农业工程学院，吉林 长春 130025）摘 要：纳米压印技术具有产量高、成本低和工艺简单的优点，是纳米尺寸电子器件的重要制作技术。纳米压印技术主要包括热压