俄歇电子能谱仪及其在微细加工技术中的应用

俄歇电子能谱仪及其在微细加工技术中的应用俄歇电子能谱仪是一种高分辨率、高灵敏度的表征表面化学成分和电子结构的分析工具，广泛应用于微细加工技术中。本文着重介绍俄歇电子能谱仪的基本原理及其在微细加工技术中