掺质β-Ga2O3单晶的制备及性能研究

掺质β-Ga2O3单晶的制备及性能研究摘要：本文针对掺质β-Ga2O3单晶的制备及性能进行研究，采用化学气相沉积法制备了掺杂不同浓度的β-Ga2O3单晶，通过X射线衍射仪、场发射扫描电镜和紫外-可见吸