2021年二氧化硅的性质及其在单晶硅太阳池中的应用

二氧化硅的性质及其在单晶硅太阳池中的应用 干法氧化通常用来形成要求薄、界面能级和固定电荷密度低的薄膜。干法氧化成膜速度慢于湿法。湿法氧化通常用来形成作为器件隔离用的比较厚的二氧化硅膜。当SiO2膜较薄