27.12MHz激发的容性耦合ArO2等离子体诊断研究的任务书

27.12MHz激发的容性耦合ArO2等离子体诊断研究的任务书任务书一、背景和意义等离子体是一种由离子、电子和中性粒子组成的高度离散的气态物质，具有复杂的物理过程和化学反应。在工业、能源、医疗等领域中