电子束熔炼去除冶金级硅中磷、铝、钙的研究

电子束熔炼去除冶金级硅中磷、铝、钙的研究电子束熔炼去除冶金级硅中磷、铝、钙的研究摘要：冶金级硅是用于制备高纯硅的重要原材料之一。然而，冶金级硅中常常存在着磷、铝、钙等杂质元素，会降低硅的纯度和电子迁移