ECR等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究

ECR等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究ECR等离子体刻蚀CVD金刚石膜的研究摘要：电子回旋共振（ECR）等离子体刻蚀是一种常用的方法，用于去除化学气相沉积（CVD）获得的金刚石膜表面的杂质和损伤。本文