非硅MEMS万向惯性开关设计与动态可视化测试方法研究

非硅MEMS万向惯性开关设计与动态可视化测试方法研究非硅MEMS万向惯性开关设计与动态可视化测试方法研究摘要：随着微型化技术的不断发展，MEMS（微电子机械系统）器件在各个领域得到了广泛的应用。其中，