半导体制造工艺流程简介

半导体制造工艺1NPN 高频小功率晶体管制造的工艺流程为：外延片——编批——清洗——水汽氧化——一次光刻——检查——清洗——干氧氧化——硼注入——清洗——UDO 淀积——清洗——硼再扩散——二次光刻—