2完整版电容式传感器课程设计 (2)

引 言硅压力传感器具有精度高、稳定性好等优点，在工业中广泛应用。但是，由于硅材料本身的限制，使其无法用于高温和腐蚀等特殊环境中。而陶瓷电容式压力传感器采用特殊陶瓷材料制作，具有抗腐蚀、耐高温等优点，