多晶炉工艺调试流程

多晶炉工艺调试流程一，工艺原理 ：多晶硅铸锭炉采用的生长方法主要为热交换法与布里曼法结合的方式。 这种类型的铸锭炉， 内涂 SiN的坩埚装入多晶硅料后放在导热性很强的 DS 块上，关闭炉子后排气，坩埚