晶圆工艺过程

漫谈晶圆---讲述沙子转变成晶体及晶圆和用于芯片制造级的抛光片的生产步骤 介绍 高密度和大尺寸芯片的发展需要大直径的晶圆。在上世纪60年代开始使用的是12直径的晶圆,而现在业界根据90年代的工艺要求生