柔性衬底上制备氟、镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其光电性质研究

柔性衬底上制备氟、镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜及其光电性质研究摘要：本文通过溶胶-凝胶法制备了氟、镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见光谱仪和霍尔效应测试系统对薄膜的