氮化铝声表面波器件及其在温度传感中的应用

氮化铝声表面波器件及其在温度传感中的应用摘要：氮化铝声表面波器件是一种基于声表面波（SAW）技术的新型器件，具有温度传感、压力传感、气体传感等丰富的应用前景。本文将主要介绍氮化铝材料特性、声表面波器件