硅锭线切割回收料制备Si3N4SiC耐火材料的任务书

硅锭线切割回收料制备Si3N4SiC耐火材料的任务书引言硅锭线切割回收料是来自半导体工艺中废弃的硅排和硅锭进行经过分类、清洗、破碎、筛分、烧结等工艺流程后得到的一种次生资源。Si3N4/SiC是一种高