光栅位置检测装置.docx

光栅位置检测装置光栅作为检测装置，已历史长久，可用以测量长度、角 度、速度、加速度、振动和爬行等。在数控机床进给伺服系统中，被用来检测直线位移、角 位移和移动速度。用长光栅(或称直线光栅)来测量直线位