氮化镓干法刻蚀研究进展

氮化镓干法刻蚀研究进展 技术专栏 Technology Column 王冲，郝跃，冯倩，郭亮良 （西安电子科技大学微电子研究所，　宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室，西安