用于六自由度纳米工作台的位移传感器研制的中期报告

用于六自由度纳米工作台的位移传感器研制的中期报告本项目旨在研发一种用于六自由度纳米工作台的高精度位移传感器。在前期的研究中，我们完成了传感器结构和工作原理的设计，以及关键部件的选型和制造。在本中期报告