中束流离子注入机

M/C离子注入机§1. 概述在半导体行业中，离子注入的机台主要分为高能量（H/E），大束流（H/C），中束流（M/C）三种。这里主要介绍的是中束流的离子注入机台。中束流机台（Medium Curren