基于原子力显微术的5 nm台阶高度标准物质溯源与定值技术研究

基于原子力显微术的5 nm台阶高度标准物质溯源与定值技术研究基于原子力显微术的5 nm台阶高度标准物质溯源与定值技术研究摘要：原子力显微术是一种能够实现原子级别分辨的表面测量技术，已被广泛应用于纳米尺