薄膜XRD

薄膜XRD测量问题，BRUKER D8 FOCUS 能否做掠入射小角衍射？想请教各位高手一个问题。我想测一个薄膜的结构，薄膜厚度（~30nm），在XRD(D8 FOCUS)上测了，只有衬底的峰。