基于光学理论的PERC太阳电池背面AlOx-SiNx叠层膜的研究

基于光学理论的PERC太阳电池背面AlOx/SiNx叠层膜的研究    黄河水电光伏技术产业有限公司 ■ 马少华 吕欣崇锋 孟庆平 侯少攀基于光学理论的PERC太阳电池背面AlOx/SiNx叠层膜的研

基于光学理论的PERC太阳电池背面 AlOx/SiNx叠层膜的研究 黄河水电光伏技术产业有限公司■马少华吕欣崇锋孟庆平侯少攀 基于光学理论的PERC太阳电池背面AlOx/SiNx叠层膜的研究 黄河水电光伏技术产业有限公司■马少华吕欣*崇锋孟庆平侯少攀 AlOx/SiNx叠层膜广泛应用于PERC(钝化发射极和背面局部接触)太阳电池中， 以达到增强背反射和提高背表面钝化效果的作用。在先前的研究中，光学理论 分析仅应用于正面单层SiNx或SiOx/SiNx双层膜厚度优化分析，极少应用于背 面AlOx/SiNx双层膜优化分析。本文采用Matlab软件，基于光学导纳矩阵理 论，同时将AM1.5G标准太阳光谱，AlOx、SiNx、Al在整个光谱范围内 (280～1200nm)的折射率系数n(λ)考虑在内，系统分析了AlOx/SiNx双层膜的 背反射效果。另外，依据背面AlOx/SiNx不同膜厚组合下透射光反射回硅片本 体的反射率曲线分布和平均反射率作为评估指标进行理论分析，结果表明： AlOx/SiNx优化后最佳膜厚组合为15nm/80nm，为PERC太阳电池背面膜厚优 化提供理论支持。