新型芳基类低介电常数材料合成、表征及其性能的研究的任务书

新型芳基类低介电常数材料合成、表征及其性能的研究的任务书一、任务背景随着电子信息技术的快速发展，高性能电子器件的需求不断增加。在微电子器件制备过程中，要求使用低介电常数材料来减小互连线之间的耦合和信号