EDS元素分析

EDS元素分析一、实验目的 1.了解能谱仪(EDS)的结构和工作原理。 2.掌握能谱仪(EDS)的分析方法、特点及应用。 二、实验原理 在现代的扫描电镜和透射电镜中，能谱仪(EDS)是一个重要的附件，