微电子机械系统(MEMS)综述

浙大■微电子机械系统（MEMS）综述内 容: 一、MEMS概念 二、MEMS研究背景三、MEMS发展史八、 MEMS技术的加工工艺九、LIGA和准LIGA技术I^一、MEMS的最新应用十二、MEMS的