三维微力传感器探针结构设计及仿真研究

三维微力传感器探针结构设计及仿真研究三维微力传感器探针结构设计及仿真研究摘要：本文针对三维微力传感器的探针结构设计及仿真进行研究。首先，介绍了三维微力传感器的原理和应用背景，分析了当前常用的力传感器的