磁控溅射镀膜工艺

磁控溅射镀膜工艺 大面积磁控溅射工艺 1、介绍 在玻璃或卷材上制备的用于建筑、汽车、显示器和太阳能应用的光学多层膜是利用反应磁控溅射以具有可重复的稳定的高沉积率进行生产的。在整个基底