动荷载作用下长寿命微罩面的力学特性研究的开题报告

动荷载作用下长寿命微罩面的力学特性研究的开题报告1. 研究背景在现代社会中，微电子器件已经成为人们生活中必不可少的一部分。而微电子器件中，微罩面是其中的重要组成部分，其主要作用是隔绝不同工艺步骤之间的