谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究的开题报告

谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究的开题报告1. 研究背景与意义随着微机电系统（MEMS）技术的不断进步和广泛应用，MEMS压力传感器作为一种常见的MEMS传感器，在工业、医疗、航空航天等领域