纳米工艺物理设计中DMSA的研究与实现中期报告

纳米工艺物理设计中DMSA的研究与实现中期报告本报告旨在介绍在纳米工艺物理设计中DMSA的研究与实现的中期进展，包括DMSA的物理特性分析、合成方法研究、表征测试等方面的工作。1. DMSA的物理特性