MAU等各厂务系统及控制逻辑共3页word资料

MAU等各厂务系统及控制逻辑MAU等各厂务系统的控制逻辑1。描述   系统共有三台相同的新风机组，用来保持洁净室的正压和露点温度。2。规格   风量/台：50000m3/h    洁净室空气的露点温度