微电子参考实验报告

实验1 硅片氧化层性能测试预习报告 实验调研1：新型氧化工艺调研实验报告氧化层性能测试1质量要求: 二氧化硅薄膜质量好坏，对器件的成品率和性能影响很大。因此要求薄膜表面无斑点、裂纹、白雾、发花和针孔等